日本小岛KOFLOC质量流量控制器

日本小岛KOFLOC质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。

产品特色：
通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。
通用的常闭型阀门确保了安全
使用电磁执行器保证了高效的可靠性
低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）
另有针对PM2.5设备特制品：流量16.7L/MIN，低压差15Kpa既可，*，高性价比

日本小岛KOFLOC质量流量控制器技术参数：
流量FS(N2换算)：10SCCM-20SLPM(3660系列)
                           30SLPM-100SLPM(3665系列)
气体种类：所有气体(腐蚀性、有毒、特殊气体都可)
传感器类型：热式传感器
阀门类型：电磁比例阀，常闭
控制范围：2%-100%(3660系列)
                5%-100%(3665系列)
控制速度：2%-100%,2秒以内
控制精度：±1.0%FS(3660系列)
                ±1.5%FS(3665系列)
重复性：±0.5%FS
工作差压：满量程FS≤5升/分钟，49-294Kpa
                5升/分钟≤满量程FS≤100升/分钟，98-294Kpa
低差压特制：2-149Kpa，根据具体流量来定制
高差压特制：294-784Kpa，根据具体流量来定制
使用温度：0-50℃
允许湿度：0-90%
泄漏率：≤1x10-8Pa.m3 /sec（不包含He）
产品材质：主体-SUS316
                密封圈：Viton
                可另选：氯丁橡胶，丁腈橡胶NBR
管路接头：1/4英寸卡套(3660系列)
                3/8英寸卡套(3665系列)
                可另选：1/8英寸卡套、1/4英寸VCR、RC1/4英寸、特殊要求可定制
电气接头：D型9针
输入信号：0-5V(模拟信号)
输出信号：0-5V(模拟信号)
供应电源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA
产品重量：800g(3660系列)、1000G(3665系列.

电气D型9针连线示意图：
1号针：阀门开关信号(可不接)
2号针：输出信号0-5V
3号针：电源+15VDC
4号针：电源COM
5号针：电源-15VDC(
6号针：输入信号0-5V
7号针：输出信号COM
8号针：输入信号COM
9号针：阀门电压输出